集束イオンビーム(FIB-SEM) Helios G4 UC(FEI製)
装置概要
FIB-SEMはイオンビームと電子ビームの両方を利用することできる装置です。イオンビームを用いて試料の任意の場所を切削することができます。切削した後に電子ビームを用いて撮像することで、試料の断面像を取得できます。また、切削と撮像を繰り返すことで試料の3次元再構成像を取得することもできます。本設備は、複数の2次電子検出器、反射電子検出器を有しており、電界放射型の走査電子顕微鏡としても非常に優秀な設備です。設置場所と担当者
設置場所：東広島 J棟103号室（マップ）担当者 ：前田誠（内線2483, mail:mmaeda[at]）
予約・依頼方法
予約は大学連携研究設備ネットワークより行ってください。「設備を検索」から「Helios」で検索できます。
依頼測定の場合は、予約前に担当者までご相談下さい。
料金表
相互利用（直接測定）
| 利用形態 | 利用料金 | 備考 |
|---|---|---|
| 電子ビームのみ利用（学内） | 1000円/1時間 | |
| 電子ビーム+イオンビーム（学内） | 2100円/1時間 | |
| 電子ビームのみ（学外） | 3470円/1時間 | |
| 電子ビーム+イオンビーム（学外） | 8580円/時間 |
依頼測定
| 利用形態 | 利用料金 | 備考 |
|---|---|---|
| 電子ビームのみ利用（学内） | 1500円/1時間 | |
| 電子ビーム+イオンビーム（学内） | 3100円/1時間 | |
| 電子ビームのみ（学外） | 4720円/1時間 | |
| 電子ビーム+イオンビーム（学外） | 11080円/時間 |
