装置概要

WDSとEDSを備えたEPMAです。
周辺設備として真空蒸着装置（日本電子製・IB-29510VET）を備えています。

設置場所と担当者

設置場所：東広島　機器分析J棟 306室（マップ）
担当者　：柴田恭宏（内線7488,外線082-424-7488, mail:yasshibata[at]）

予約・依頼方法

利用希望の方は、まず装置担当者に電話・メール等でご連絡ください。
分析内容等を打ち合わせたのちにマシンタイムを決定します。

料金表

相互利用（直接測定）

利用形態	利用料金	備考
学内	500円/時間
学外	11,840円/時間
炭素蒸着	100円/件	学外利用の場合、870円/件

依頼測定

利用形態	利用料金	備考
学内	1,000円/時間
学外	13,090円/時間
炭素蒸着	100円/件	学外利用の場合、870円/件

仕様

測定種

電子像観察（二次電子像、反射電子像）ならびに、WDSおよびEDSを用いた定性、定量、面分析など

分析元素範囲

WDS：B～U、EDS：B～U

X線分光範囲

WDS：0.087～9.3nm、EDSエネルギーレンジ：20keV

X線分光器数

WDS：5基、EDS：1基

最大試料寸法(ホルダーによる)

70mm x 90mm x 10mm(H)、あるいは、36mm径 x 20mm(H)

最大加速電圧

30kV

最大照射電流

10µA

その他

試料に対して分析内容に応じた適切な前処理（鏡面研磨、成形、樹脂による包埋など）が必要です。
分析内容とともに試料前処理についても打ち合わせが必要ですので、まずは担当者までご連絡ください。
なお、10月1日～1月31日は繁忙期のため学内利用のみを受け付けます。