電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM) S-5200(日立ハイテク製)
装置概要
FE-SEMは汎用SEMに比べて1000倍程度輝度が高く、電子線源が小さいため、空間分解能が極めて高く、より小さな組織を観察するのに適した装置です。また、低加速電圧でも十分なコントラストが得られるため、導電性の低い試料や熱に弱い試料の観察にも適しています。付属装備はEDS（エネルギー分散型X線分析装置）です。定性分析やサブミクロンオーダーでの元素マップが取得できます。設置場所と担当者
設置場所：東広島 J棟103号室（マップ）担当者 ：前田誠（内線2483, mail:mmaeda[at]）
予約・依頼方法
予約は大学連携研究設備ネットワークより行ってください。「設備を検索」から「S-5200」で検索できます。
依頼測定の場合は、予約前に担当者までご相談下さい。
料金表
相互利用（直接測定）
| 利用形態 | 利用料金 | 備考 |
|---|---|---|
| 通常測定 | 500円/時間, EDSを利用する場合は750円/時間 | 新規利用者は講習の受講が必要です |
依頼測定
| 利用形態 | 利用料金 | 備考 |
|---|---|---|
| 通常測定 | 700円/時間，EDSを利用する場合は950円/時間 | 予約前に担当者と事前打ち合わせを行って下さい |
