装置概要

分析する試料に超高真空中でＸ線を照射し、試料極表面（10 nm程度まで）から放出される電子を分析する装置です。 バルク試料，粉末試料，膜状試料等の表面化学状態分析（元素の定性・定量、化学結合状態、深さ方向の分布分析）ができます。

設置場所と担当者

設置場所：東広島　自然科学研究支援開発センターH205（マップ）
担当者　：宮岡裕樹（内線:4604, 外線:082-424-4604, mail:morioka[at]）

予約・依頼方法

利用を希望される場合は、学内・学外問わず、予約の前に担当者までお問合せください。
装置詳細は大学連携研究設備ネットワークよりご確認ください。
「設備を検索」から「ESCALAB250」で検索できます。

料金表

自己測定

	学内者利用料金	学外者利用料金
相互利用（直接測定）料金	1,430円/時間	3,500円/時間

依頼測定

	学内者利用料金	学外者利用料金
依頼測定料金	相互利用のみ	相互利用のみ

仕様

分析項目：XPS
深さ分析：Arイオンによるエッチング
分布分析：X線スポットサイズ　数百μm程度
空気非接触で試料輸送可能
フラッドガンによりチャージアップを除去可能であり，伝導性の低い試料も測定可能